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突破硬质材料极限:石英微流控芯片CO2激光雕刻机实现石英微流控芯片精密制造
在单细胞分析、高通量PCR等领域,石英玻璃微流控芯片因其超高透光性、耐高温和化学惰性成为,但传统光刻蚀工艺成本高、周期长。我司工业级CO2激光雕刻切割机,专为石英(SiO?)微流控芯片开发,通过脉冲能量精密控制技术,实现微通道的无锥度、无微裂纹雕刻,助力生物医药企业攻克硬质材料加工瓶颈。
石英加工核心技术突破
1. 零崩边精细雕刻
采用150W高功率CO2激光配合多级脉冲调制,瞬间气化石英表层(吸收峰值10.6μm),热影响区小。满足细胞级实验环境要求。
2. 深宽比动态优化
实现0.1-2mm厚度石英的无锥度穿透雕刻:
微通道宽深比1:10(最小线宽30μm)
切割崩边尺寸小,强度损失率低
适配微混合器、电泳分离芯片等复杂结构
3. 全流程无污染加工
非接触式加工避免切削液污染,集成氮气辅助吹扫系统,防止熔融石英重凝。加工后透光率衰减<2%(@350nm紫外波段),保障荧光检测精度。
传统工艺价值
? 效率飞跃:单芯片加工时间缩短至8分钟
? 成本直降70%:无需掩模版、真空镀膜及蚀刻
? 良率突破:芯片功能合格率高
智能闭环生产系统
红外热像仪实时监控加工温度,智能调节脉冲频率防热裂
全密封舱体配备负压除尘+HEPA过滤,捕获纳米级硅粉尘
高精度CCD视觉定位+自动对焦
赋能微流控应用
从基因测序芯片、器官芯片透明基底,到微反应器光学窗口,本设备提供“设计-雕刻-切割-封接”全链条解决方案。通过模块化扩展,兼容硼硅玻璃、蓝宝石等硬脆材料加工。
让石英微流控芯片制造更高效、更可靠!