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X、Y、Z轴行程±6.5mm,精度0.5μm，θX、θY、θZ移动量±2.5°，分辨率29〃/格

产品高精度、高刚性、高品质，底座和台面的材料采用特殊编号的硬质铝合金 
材质不受外界环境温度变化，保证定位精度，稳定性并无漂移情况产生。