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德国NanoPhotonics公司表面缺陷检测系统

 产品概述

德国NanoPhotonics公司成立于1997年，其设备主要用于半导体生产中裸芯片表面，边缘，背面的沉积材料及基片的缺陷探测，可用于基板如检测掩模板（光罩）上的颗粒、划痕、缺陷、微米级粗糙度等。

 产品特点

REFLEX TT桌上型手动缺陷检测系统
1. 65nm微粒灵敏度
2. 激光暗区域测量技术
3. 一级洁净环境
4. 可选晶圆工作台
5. 集成迷你PC和平板显示器
6. 离线分析
7. 工业标准
8. 自动化软件

 技术参数

适用不同底材和尺寸
-光罩基板尺寸:2.5"×2.5"—8"×8“
-晶圆尺寸:2"—12"

 应用材料

硅片、玻璃、复合半导体材料、透明薄膜、金属薄膜、单晶硅和多晶硅等